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公告内容

- 1 -入 札 公 告次のとおり一般競争入札に付します。令和4年2月15日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 和泉 圭紀◎調達機関番号 804 ◎所在地番号 12○第57号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 購入等件名及び数量①次世代放射光施設の線型加速器用ビームダンプの製作 一式②次世代放射光施設のビームライン用BL-TC-PLCの製作 一式③次世代放射光施設のRIXSエンドステーション用軟X線集光・結像鏡及びラミナー型回折格子の製作 一式④次世代放射光施設のRIXSエンドステーション用軟X線ブレーズ型回折格子の製作 一式⑤次世代放射光施設の軟X線ナノ吸収分光ビームライン用集光光学系の製作 一式⑥次世代放射光施設のRIXSエンドステーションの製作 一式- 2 -(3) 調達件名の特質等 入札説明書による。(4) 納入期限 入札説明書による。(5) 納入場所 入札説明書による。(6) 入札方法 落札決定に当たっては、入札書に記載された金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に１円未満の端数があるときは、その端数金額を切り捨てるものとする。)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税及び地方消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった契約金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。２ 競争参加資格(1) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１０条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者については、この限りでない。(2) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１１条第１項の規定に該当しない者であること。(3)令和4年度に国の競争参加資格(全省庁統一資格)を有している者であること。- 3 -なお、当該競争参加資格については、令和3年3月31日付け号外政府調達第60号の官報の競争参加者の資格に関する公示の別表に掲げる申請受付窓口において随時受け付けている。(4) 調達物品に関する迅速なアフターサービス・メンテナンスの体制が整備されていることを証明した者であること。(5) 当機構から取引停止の措置を受けている期間中の者でないこと。３ 入札書の提出場所等(1) 入札書の提出場所、契約条項を示す場所、入札説明書の交付場所及び問い合わせ先〒263-8555 千葉市稲毛区穴川４－９－１国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 財務部 契約課 電話 043-206-3014E-mail:nyuusatsu_qst@qst.go.jp(2) 入札説明書の交付方法 本公告の日から入札書受領期限の前日17：00までの間において上記3(1)の交付場所にて交付する。また、電子メールでの交付を希望する者は必要事項(調達番号、件名、住所、社名、担当者所属及び氏名、電話番号)を記入し3(1)のアドレスに申し込むこと。ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。- 4 -(3) 入札説明会の日時及び場所 開催しない。(4) 入札書の受領期限令和4年4月7日17時00分(5) 開札の日時及び場所 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 本部(千葉地区)会議室令和4年4月26日①10時00分②11時00分③13時30分④14時30分⑤15時30分⑥16時30分４ その他(1) 契約手続において使用する言語及び通貨日本語及び日本国通貨。(2) 入札保証金及び契約保証金 免除。(3) 入札者に要求される事項 この一般競争に参加を希望する者は、封印した入札書に本公告に示した物品を納入できることを証明する書類を添付して入札書の受領期限までに提出しなければならない。入札者は開札日の前日までの間において、当機構から当該書類に関し説明を求められた場合は、それに応じなければならない。(4) 入札の無効 本公告に示した競争参加資格のない者の提出した入札書、入札者に求められる義務を履行しなかった者の提出した入札書、その他入札説明書による。- 5 -(5) 契約書作成の要否 要。(6) 落札者の決定方法 本公告に示した物品を納入できると契約責任者が判断した入札者であって、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構が作成した予定価格の制限の範囲内で最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。(7) 手続における交渉の有無 無。(8) その他 詳細は入札説明書による。なお、入札説明書等で当該調達に関する環境上の条件が定められている場合は、十分理解した上で応札すること。５ Summary(1) Official in charge of disbursement of the pro-curing entity : IZUMI Yoshinori, Director ofDepartment of Financial Affairs, National Insti-tutes for Quantum Science and Technology.

(2) Classification of the products to be procured :24(3) Nature and quantity of the products to be Man-ufactured :①Manufacturing of beam dumps for Advanc-ed Synchrotron Light Source l inear acceler-ators 1set- 6 -②Manufacturing of BL-TC-PLC for AdvancedSynchrotron Light Source Beamlines 1set③Manufacturing of soft X-ray concentrationand imaging mirrors and laminar diffractiongratings for Advanced Synchrotron Light SourceRIXS end stations 1set④Manufacturing of soft X-ray blazing type dif-fraction grating for Advanced SynchrotronLight Source RIXS end stations 1set⑤Manufacturing of concentrative optical sys-tem for soft X-ray nanoabsorbed spectroscopybeaml ine in Advanced Synchrotron Light Source1set⑥Manufacturing of RIXS end stations for Ad-vanced Synchrotron Light Source 1set(4) Delivery period : As shown in the tender Doc-umentation(5) Delivery place : As shown in the tender Doc-umentation(6) Qualifications for participating in the tenderingprocedures : Suppliers eligible for participatingin the proposed tender are those who shall :A not come under Article 10 of the Regulation- 7 -concerning the Contract for National Insti-tutes for Quantum Science and Technology,Furthermore, minors, Person under Conser-vatorship or Person under Assistance thatobtained the consent necessary for conclud-ing a contract may be applicable under casesof special reasons within the said clause,B not come under Article 11(1) of the Regula-tion concerning the Contract for National In-stitutes for Quantum Science and Technol-ogy,C have qualification for participating in ten-ders by Single qualification for every ministryand agency during fiscal 2022,D prove to have prepared a system to providerapid after-sale service and maintenance forthe procured products,E not be currently under a suspension of busi-ness order as instructed by National Insti-tutes for Quantum Science and Technology.

(7) Time limit of tender :5:00 PM, 7, April, 2022(8) Contact point for the notice : Contract Section,National Institutes for Quantum Science and- 8 -Technology, 4-9-1 Anagawa, Inage-ku, Chiba-shi 263-8555 JAPAN(TEL.043-206-3014, E-mai l: nyuusatsu_qst@qst.go.jp)(9) Please be noted that if it is indicated that en-vironmental conditions relating to the procure-ment are laid down in its tender documents.

1/9次世代放射光施設のRIXSエンドステーション⽤軟X線集光・結像鏡及びラミナー型回折格⼦の製作仕様書国⽴研究開発法⼈量⼦科学技術研究開発機構2/91 概要本件は、国⽴研究開発法⼈量⼦科学技術研究開発機構(以下「量研」という。)が官⺠地域パートナーシップにより整備する次世代放射光施設において、超⾼分解能軟X線RIXSビームラインのエンドステーションで⽤いられる軟X線⽤集光・結像鏡及びラミナー型回折格⼦を製作するものである。本集光・結像鏡は、ビームラインから供給されるエネルギー分散した放射光を集光して試料に照射し、試料からの散乱軟X線をRIXS分光器で結像して超⾼エネルギー分解能を得るための鏡で、サイズ、曲率半径、スロープエラー、表⾯粗さ、形状誤差、複数鏡の位置関係等が所定の精度で製作され、かつ、それが⽰されなければならない。本回折格⼦は、不等刻線による集光型円筒⾯回折格⼦であり、超⾼エネルギー分解能を得るために回折格⼦のサイズ、溝パラメーター、スロープエラー、表⾯粗さ、形状誤差等が所定の値であることが求められ、かつ、それが⽰されなければならない。2 使⽤条件a) 使⽤温度：室温(ただし、ベーキング時は90℃以下)b) 真空度：5×10−8 Pa以下3 仕様3.1 構成a) 集光⽤ウォルター I型鏡(M3)、1個b) 結像⽤ウォルター I鏡(M4)、1個c) 不等刻線間隔ラミナー型円筒⾯回折格⼦、1個3.2 技術仕様3.2.1 集光・結像⽤ウォルター I型鏡3/9b) 表1、表2に仕様の詳細を⽰す。c) 反射⾯形状は単結晶シリコン基板表⾯を研磨することで実現すること。d) 楕円と双曲⾯は同⼀基板上に製作すること。e) 反射鏡を配置した際の⾃重たわみによる歪みの影響を考慮して反射⾯を研磨すること。基板の⾓を⾯取りする場合R1以下とする。f) 反射鏡の上流側端部に相当する位置に反射鏡の有効幅を⽬視できるようにケガキを⼊れること。g) 表⾯粗さは、ブランク基板に加え、コーティングした際の参照試料の値とする。h) 本仕様書内に記載の反射鏡の外形⼨法等は参考値で、クランプ⽅法によっては形状等に悪影響を及ぼすことが懸念されることから、原則最適なクランプ⽅法について別途協議した上で外形⼨法、形状を決定する。なお、クランプ機構は本仕様書の範囲外である。i) 受注者は、乾燥窒素ガスを封⼊した⾼密度ポリエチレン(HDPE)ケースに反射鏡を収納して納品すること。3.2.2 不等刻線間隔ラミナー型円筒⾯回折格⼦a) 本仕様における回折格⼦は、直⽅体単結晶シリコン基板を超研磨したブランク基板の表⾯にホログラフィック露光法とイオンビームエッチング法を⽤いて矩形状の溝パターンを直接刻線したラミナー型とする。b) 回折格⼦ブランク基板の反射⾯形状は研磨によって実現すること。c) 回折格⼦を配置した際の⾃重たわみによる歪みの影響を考慮して反射⾯を研磨すること。なお、偏向⽅向は⽔平⽅向である。d) ラミナー型回折格⼦のデューティー⽐は、格⼦定数に対する格⼦溝の⼭部との⽐と定義する。e) 基板の数量は合計2枚である。表3に⽰す基板仕様のもとで、表4に⽰す刻線パラメーターから成るパターンを製作する。刻線密度は、次の式で与えられるものとする。    ここで、w は回折格⼦の⻑⼿⽅向の位置座標を表し、基板の中⼼を原点、光の進⾏⽅向を正にとる。f) 本仕様における回折格⼦の刻線パラメーターは、表 5 に⽰す使⽤エネルギー範囲と偏⾓において最適化した参考値である。エネルギーに対して偏⾓を連続的に変化させることで使⽤範囲を広く取ってあるが、刻線パラメーター等にはある程度任意性があることから、受注者はあらかじめ回折格⼦の分光エネルギー範囲に対する回折効率(0、1、2次光)のシミュレーション結果を⽰した上で、量研担当者と協議の上決定することとする。g) 回折格⼦基板端⾯に刻線密度の⼤⼩を明⽰する記号を付与すること。h) 回折格⼦基板の⾓を⾯取りする場合R1以下とする。i) 表⾯粗さは、ブランク基板に加え、刻線後コーティングした際の参照試料の値とする。j) 回折格⼦は、乾燥窒素ガスを封⼊した⾼密度ポリエチレン(HDPE)ケースに収納して納品すること。k) 回折格⼦の試作基板も納品すること。4 納⼊場所宮城県仙台市⻘葉区荒巻⻘葉468-1国⽴⼤学法⼈東北⼤学⻘葉⼭新キャンパス内の指定する場所5 納⼊期限令和5年8⽉31⽇4/96 提出図書6.1 印刷物a) 表6に⽰す図書を印刷物として提出すること。b) 使⽤する⾔語は⽇本語とする。ただし、海外機器等の取扱説明書等はこの限りでない。c) 印刷物は、原則A4サイズ⽤紙で提出すること。ただし、確認図、図表等はこの限りでない。d) 印刷物は、原則チューブファイル等で綴じて提出すること。e) 「完成図書」とは、①〜⑥を印刷して表紙と⽬次を付してファイルに綴じた物に加え、これらの電⼦ファイルも併せた物である。完成図書の⼤型図⾯は折りたたんで収納すること。縮⼩図は可とするが、⽂字が判読できることが望ましい。6.2 電⼦ファイルa) 表6に⽰す提出図書は、特記なき限り、次の電⼦可読形式ファイルで提出すること。① CADファイル：(1) 2D-CAD：Autodesk AutoCAD LT(dwg、dxf)及びAdobe Acrobat(pdf)(2) 3D-CAD：SOLIDWORKS(step、parasolid)及びAdobe Acrobat(pdf)② CADファイル以外：Microsoft Office(docx、xlsx、pptx)⼜はAdobe Acrobat(pdf)b) 提出図書の作成に使⽤するソフトウェアは最新バージョンを⽤いることが望ましい。c) 記録メディア① CD-R⼜はDVD-Rとする。② 数量は1枚とする。③ 提出前に最新定義ファイルに更新されたウィルス検知ソフトでウィルスチェックを⾏うこと。④ 記録メディアのレーベル⾯には、次の内容を直接印刷⼜は不滅インクによる⼿書きで明記すること(順不同)。(1) 件名(2) 受注者名(3) ウィルス検知ソフト名(バージョンを含む)(4) データ書き込み⽇(5) ウィルスチェック⽇d) CAD ファイルは周辺機器との⼲渉や取り合い等の確認に供するためにその使⽤を制限した上で他社と共有する場合がある。この点を考慮しCADファイルを提出すること。7 試験検査以下の試験項⽬に関する試験検査要領書を作成し、量研担当者の確認後、試験検査を⾏い、結果を試験検査成績書に記載すること。a) 員数試験員数が本仕様書に記載されているとおりであることを確認する。b) 外観試験外観に機能を害するような傷、⽋落、打こん、変形等がないことを⽬視により確認する。c) ⼨法試験試験検査要領書に記載された指定の箇所の⼨法をノギス、直尺等で計測し、公差内であることを確認する。

d) 表⾯試験次の項⽬を集光・結像鏡については表⾯に対して、ラミナー型回折格⼦については基板に対して試験し、試験検査要領書に記載された値を満⾜していることを確認した上で、表⾯試験の結5/9果を電⼦可読形式で提出すること。なお、各表⾯試験の計測ピッチ、計測範囲は下記のとおりとするが、詳細については別途協議の上決定する。(1) 表⾯粗さ：1 μmピッチ以下、100 μm × 100 μm以上の領域を5か所以上(2) スロープエラー：1 mmピッチ、回折格⼦の全有効領域(3) 形状誤差、曲率半径：0.1 mmピッチ以下、回折格⼦の全有効領域(4) 楕円双曲相対誤差(集光・結像鏡のみ)：形状誤差、曲率半径の計測に基づく8 検査条件第7項に⽰す試験に合格し、第6項に⽰す提出書類の完納をもって検査完了とする。9 産業財産権等産業財産権等については、別紙−1「産業財産権等の取扱いについて」に定めるとおりとする。10 機密保持受注者は、本品の製作にあたり、発注者から知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂⾏以外の⽬的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開⽰、提供してはならない。ただし、あらかじめ量研の了承を得た場合にはこの限りでない。11 契約不適合責任契約不適合責任については契約条項のとおりとする。12 グリーン購⼊法の推進a) 本契約において、グリーン購⼊法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適⽤する環境物品(事務⽤品、ＯＡ機器等)が発⽣する場合は、これを採⽤するものとする。b) 本仕様に定める提出図書(納⼊印刷物)については、グリーン購⼊法の基本⽅針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。13 協議事項a) 受注者は、本仕様書について疑義が⽣じた場合、量研と協議の上、その決定に従うものとする。b) 協議内容は⽂書によるやり取りを原則とし、その内容について受注者と量研の双⽅が確認する。14 特記事項受注者は、本仕様書に関する前提事項として別添資料「次世代放射光施設ビームライン機器共通事項」を原則遵守すること。ただし、別途指⽰等が本仕様書に明記されている場合にはそれに従うこと。6/9表1 集光鏡M3の仕様(参考値)単位M3形状Wolter Type I楕円 双曲(仮想)物点から光学素⼦までの距離mm 44531.78 317.75光学素⼦から(仮想)像点までの距離mm 538.87 147.09⼊射⾓deg 88.74 88.56曲率半径Tan mma=22535.33b=107.40a=85.326b=5.445Sag m >20 km ←基板物質Si(100)表⾯粗さ(rms)(空間周波数1–100μm)nm <0.3 ←形状誤差(rms)(空間周波数0.1 mm–有効⻑)Tan nm <1.5 ←楕円・双曲相対誤差光軸⽅向 μm ±20法線⽅向 μm ±2ピッチ⽅向 μrad ±5ロール⽅向 μrad ±50ヨー⽅向 deg ±1スロープエラー(rms)(空間周波数1 mm–有効⻑)Tan μrad <0.15 ←Sag μrad 239 >139交点を中⼼とする⾮有効領域は20 ←外形⼨法⻑さ mm 400(±0.1)幅 mm 40(±0.1)厚さ mm 40(±0.1)員数1反射⾯の向き⽔平、反射⽅向はX線進⾏⽅向左向き冷却なし側⾯の溝加⼯なし7/9表2 結像鏡M4の仕様(参考値)単位M4形状Wolter Type I双曲 楕円(仮想)物点から光学素⼦までの距離mm 150.72 520.85光学素⼦から(仮想)像点までの距離mm 290.43 11618.86⼊射⾓ deg 88.92 88.78曲率半径Tan mma=69.856b=3.944a=6069.86b=52.191Sag m >20 km ←基板物質 Si(100)表⾯粗さ(rms)(空間周波数1–100μm)nm <0.3 ←形状誤差(rms)(空間周波数0.1 mm–有効⻑)Tan nm <1.5 ←楕円・双曲相対誤差光軸⽅向 μm ±20法線⽅向 μm ±2ピッチ⽅向 μrad ±5ロール⽅向 μrad ±50ヨー⽅向 deg ±1スロープエラー(rms)(空間周波数1 mm–有効⻑)Tan μrad <0.15 ←Sag μrad 217 >161交点を中⼼とする⾮有効領域は20 ←外形⼨法⻑さ mm 400(±0.1)幅 mm 40(±0.1)厚さ mm 50(±0.1)員数 1反射⾯の向き 鉛直、反射⾯が鉛直下向き冷却 なし側⾯の溝加⼯ なし8/9表3 基板仕様(参考値)パラメーター 単位ミラー形状 円筒設置⽅向 ⽔平反射、反射⽅向はX線進⾏⽅向右向き有効⻑さ mm >180有効幅 mm >20基板⻑さ mm 200基板幅 mm 40基板厚さ mm 40基板材質 Si単結晶形状誤差 nm rms 20スロープエラー (Tangential) μrad rms <0.10スロープエラー (Sagittal) μrad rms <0.5表⾯粗さ(×50)※1 nm rms 180刻線幅 mm >20コーティング厚さ nm Au, 50±10バインダー厚さ nm Cr, 5 – 10表5 ラミナー型回折格⼦の使⽤条件Incidence angle(degree)Diffraction angle(degree)Included angle(degree)Energy(eV)88.29 – 88.60 83.03 – 86.34 85.61 – 87.47 250 – 10009/9表6 提出図書⼀覧図書名 提出時期 部数 確認① ⼯程表 契約後速やかに 1 要② 確認図 製作着⼿前 1 要③ 試験検査要領書 試験検査着⼿前 1 要④ 打合せ等議事録 実施の都度 1 要⑤ 試験検査成績書 納⼊時 1 不要⑥ 完成図書 納⼊時 1 不要(要求者)部課(室)名： 量⼦ビーム科学部⾨ 次世代放射光施設整備開発センター⾼輝度放射光研究開発部 ビームライングループ⽒名： 宮脇 淳別紙－1産業財産権等の取扱いについて(受注者が単独で行った発明等の産業財産権の帰属)第１条 受注者は、本契約に関して、受注者が単独でなした発明又は考案(以下「発明等」という。)に対する特許権、実用新案権又は意匠権(以下「特許権等」という。)を取得する場合は、単独で出願できるものとする。ただし、出願するときはあらかじめ出願に際して提出すべき書類の写しを添えて量研に通知するものとする。(受注者が単独で行った発明等の特許権等の譲渡等)第２条 受注者は、受注者が前条の特許権等を量研以外の第三者に譲渡又は実施許諾する場合には、本特約条項の各条項の規定の適用に支障を与えないよう当該第三者と約定しなければならない。(受注者が単独で行った発明等の特許権等の実施許諾)第３条 量研は、第１条の発明等に対する特許権等を無償で自ら試験又は研究のために実施することができる。量研が量研のために受注者以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第三者に再実施権を許諾する場合は、受注者の承諾を得た上で許諾するものとし、その実施条件等は量研、受注者協議の上決定する。

(量研及び受注者が共同で行った発明等の特許権等の帰属及び管理)第４条 量研及び受注者は、本契約に関して共同でなした発明等に対する特許権等を取得する場合は、共同出願契約を締結し、共同で出願するものとし、出願のための費用は、量研、受注者の持分に比例して負担するものとする。(量研及び受注者が共同で行った発明等の特許権等の実施)第５条 量研は、共同で行った発明等を試験又は研究以外の目的に実施しないものとする。ただし、量研は量研のために受注者以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第三者に実施許諾する場合は、無償にて当該第三者に実施許諾することができるものとする。２ 受注者が前項の発明等について自ら商業的実施をするときは、量研が自ら商業的実施をしないことにかんがみ、受注者の商業的実施の計画を勘案し、事前に実施料等について量研、受注者協議の上、別途実施契約を締結するものとする。(秘密の保持)第６条 量研及び受注者は、第１条及び第４条の発明等の内容を出願により内容が公開される日まで他に漏洩してはならない。ただし、あらかじめ書面により出願を行った者の了解を得た場合はこの限りではない。(委任・下請負)2 / 2第７条 受注者は、本契約の全部又は一部を第三者に委任し、又は請け負わせた場合においては、その第三者に対して、本特約条項の各条項の規定を準用するものとし、受注者はこのために必要な措置を講じなければならない。２ 受注者は、前項の当該第三者が本特約条項に定める事項に違反した場合には、量研に対し全ての責任を負うものとする。(協議)第８条 第１条及び第４条の場合において、単独若しくは共同の区別又は共同の範囲等について疑義が生じたときは、量研、受注者協議して定めるものとする。(有効期間)第９条 本特約条項の有効期限は、本契約締結の日から当該特許権等の消滅する日までとする。