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公告内容

- 1 -入 札 公 告次のとおり一般競争入札に付します。令和4年3月22日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 和泉 圭紀◎調達機関番号 804 ◎所在地番号 12○第62号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 購入等件名及び数量①次世代放射光施設の軟X線ナノ光電子分光ビームライン下流ブランチ用後置鏡チャンバーの製作 一式②次世代放射光施設のRIXSエンドステーション用軟X線高位置分解能イメージング検出器システムの購入 一式(3) 調達件名の特質等 入札説明書による。(4) 納入期限 入札説明書による。(5) 納入場所 入札説明書による。(6) 入札方法 落札決定に当たっては、入札書に記載された金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に１円未満の端数があるときは、その端数金額を切り捨てる- 2 -ものとする。)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税及び地方消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった契約金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。２ 競争参加資格(1) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１０条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者については、この限りでない。(2) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１１条第１項の規定に該当しない者であること。(3) 令和4年度に国の競争参加資格(全省庁統一資格)を有している者であること。なお、当該競争参加資格については、令和3年3月31日付け号外政府調達第60号の官報の競争参加者の資格に関する公示の別表に掲げる申請受付窓口において随時受け付けている。(4) 調達物品に関する迅速なアフターサービス・メンテナンスの体制が整備されていることを証明した者であること。- 3 -(5) 当機構から取引停止の措置を受けている期間中の者でないこと。３ 入札書の提出場所等(1) 入札書の提出場所、契約条項を示す場所、入札説明書の交付場所及び問い合わせ先〒263-8555 千葉市稲毛区穴川４－９－１国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 財務部 契約課 電話 043-206-6262E-mail:nyuusatsu_qst@qst.go.jp(2) 入札説明書の交付方法 本公告の日から入札書受領期限の前日17：00までの間において上記3(1)の交付場所にて交付する。また、電子メールでの交付を希望する者は必要事項(調達番号、件名、住所、社名、担当者所属及び氏名、電話番号)を記入し3(1)のアドレスに申し込むこと。ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。(3) 入札説明会の日時及び場所 開催しない。(4) 入札書の受領期限令和4年5月12日17時00分(5) 開札の日時及び場所 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 本部(千葉地区)会議室令和４年5月25日- 4 -①14時30分②15時30分４ その他(1) 契約手続において使用する言語及び通貨日本語及び日本国通貨。(2) 入札保証金及び契約保証金 免除。(3) 入札者に要求される事項 この一般競争に参加を希望する者は、封印した入札書に本公告に示した物品を納入できることを証明する書類を添付して入札書の受領期限までに提出しなければならない。入札者は開札日の前日までの間において、当機構から当該書類に関し説明を求められた場合は、それに応じなければならない。(4) 入札の無効 本公告に示した競争参加資格のない者の提出した入札書、入札者に求められる義務を履行しなかった者の提出した入札書、その他入札説明書による。(5) 契約書作成の要否 要。(6) 落札者の決定方法 本公告に示した物品を納入できると契約責任者が判断した入札者であって、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構が作成した予定価格の制限の範囲内で最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。(7) 手続における交渉の有無 無。- 5 -(8) その他 詳細は入札説明書による。なお、入札説明書等で当該調達に関する環境上の条件が定められている場合は、十分理解した上で応札すること。５ Summary(1) Official in charge of disbursement of the pro-curing entity : IZUMI Yoshinori, Director ofDepartment of Financial Affairs, National Insti-tutes for Quantum Science and Technology.

(2) Classification of the products to be procured :24(3) Nature and quantity of the products to be pur-chased :①Manufacturing of post-mirror chamber forsoft X-ray nanophotoelectron spectroscopy beamline downstream branch for Advanced Synchrotron Light Source 1set②Purchase of Soft X-ray High Position Reso-lution Imaging Detector System for RIXS EndStations for Advanced Synchrotron LightSource 1set(4) Delivery period : As shown in the tender Doc-umentation- 6 -(5) Delivery place : As shown in the tender Doc-umentation(6) Qualifications for participating in the tenderingprocedures : Suppliers eligible for participatingin the proposed tender are those who shall :A not come under Article 10 of the Regulationconcerning the Contract for National Insti-tutes for Quantum Science and Technology,Furthermore, minors, Person under Conser-vatorship or Person under Assistance thatobtained the consent necessary for conclud-ing a contract may be applicable under casesof special reasons within the said clause,B not come under Article 11(1) of the Regula-tion concerning the Contract for National In-stitutes for Quantum Science and Technol-ogy,C have qualification for participating in ten-ders by Single qualification for every ministryand agency during fiscal 2022D prove to have prepared a system to providerapid after-sale service and maintenance forthe procured products,- 7 -E not be currently under a suspension of busi-ness order as instructed by National Insti-tutes for Quantum Science and Technology.

(7) Time limit of tender :5:00 PM, 12, May, 2022(8) Contact point for the notice : Contract Section,National Institutes for Quantum Science andTechnology, 4-9-1 Anagawa, Inage-ku, Chiba-shi 263-8555 JAPAN(TEL.043-206-6262, E-mail: nyuusatsu_qst@qst.go.jp)(9) Please be noted that if it is indicated that en-vironmental conditions relating to the procure-ment are laid down in its tender documents.

i次世代放射光施設の軟X線ナノ光電子分光ビームライン下流ブランチ用後置鏡チャンバーの製作仕様書国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構ii第I部 一般仕様.. 11. 概要.. 12. 納入品構成と仕様範囲.. 12.1. 納入品構成.. 12.2. 仕様範囲.. 13. 納期.. 14. 納入場所.. 15. 検査条件.. 16. 保管条件.. 17. 提出図書.. 18. 品質管理.. 39. 適用法規・規格基準.. 310. 産業財産権等.. 311. 機密保持.. 312. 安全管理.. 313. 物品識別タグ.. 414. 権利の帰属.. 415. 契約不適合責任.. 416. グリーン購入法の推進.. 417. 協議事項.. 4第II部 技術仕様.. 51. 技術仕様の構成.. 52. 特記事項.. 53. 技術仕様における共通事項.. 53.1. 座標系.. 53.2. 調整機構.. 53.2.1. 原点.. 53.2.2. 計測点.. 63.2.3. 可動幅.. 63.2.4. 繰返精度(再現性).. 63.2.5. 最小可変量.. 63.2.6. 最小読取量.. 63.2.7. 調整軸.. 63.2.8. 切替機構.. 73.3. 駆動制御.. 73.4. 超高真空仕様.. 73.4.1. フランジシール.. 73.4.2. リーク量.. 7iii3.4.3. 真空度計測.. 73.4.4. 材料・処理.. 83.4.5. 冷却.. 83.4.6. 架台.. 83.4.7. ベーキング.. 93.4.8. 支給及び貸与真空部品に関する一般規定.. 93.4.9. 軟X線用光学素子容器仕様(UHV-OP級).. 93.4.10. 軟X線用輸送チャンネル真空仕様(UHV-TC級).. 93.4.11. 粗排気.. 93.5. ユーティリティー.. 103.6. 真空内温度計測.. 103.7. モニター類取付フランジ標準規定.. 113.8. ベーク用機材.. 114. 軟X線ナノ光電子分光ビームライン下流ブランチ用後置鏡チャンバーの技術仕様.. 124.1. 概要.. 124.2. 構成.. 124.2.1. 構成要素.. 124.2.2. 支給及び貸与物品.. 124.2.3. ユーティリティー配管・配線.. 124.2.4. 据付.. 134.2.5. 試験検査.. 134.3. 各構成要素の仕様.. 134.3.1. 後置鏡ホルダー.. 134.3.2. 後置鏡多軸調整機構.. 144.3.3. 後置鏡真空容器.. 144.3.4. 後置鏡真空容器用架台.. 164.3.5. 真空機器締結要素類.. 164.3.6. 次世代放射光施設標準モータードライバー.. 174.3.7. 次世代放射光施設標準モーターコントローラー.. 184.3.8. ユーティリティー配管・配線.. 184.3.9. 据付.. 194.4. 試験検査.. 22図 1 座標系の定義.. 5図 2 ビームライン06Uの全景の概略図(参考図).. 24図 3 ビームライン06U 下流ブランチ後置鏡チャンバーの周辺の構成図.. 25iv表 1 提出図書一覧.. 2表 2 モニター類取付フランジ標準規定.11表 3 ビームライン06U 下流ブランチで使用する後置集光鏡の仕様(参考).. 26表 4 後置鏡多軸調整機構の可動幅、最小可変量及び繰返精度(参考値).. 261 / 27国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下「量研」という。)が官民地域パートナーシップにより整備する次世代放射光施設(以下「施設」という。)の軟 X 線ナノ光電子分光ビームライン(06U)において、下流ブランチに設置される後置鏡チャンバーを製作するものである。軟X線ナノ光電子分光ビームライン下流ブランチ用後置鏡チャンバー、1式a) 上記構成機器の設計、製作、組立、試験の全てに加え、以下が含まれる。現地における精密位置決め、据付、超高真空排気に掛かる作業真空容器、駆動機構及び各種機器類(支給品及び貸与品を含む)の組付け信号線の配線機器内、機器間の配線、圧縮空気、冷却水等の配管真空機器、駆動機器等の動作確認レーザーアライメント(光軸原点出し)量研担当者が行う光学素子の取付作業の支援令和5年12月28日宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1国立大学法人東北大学青葉山新キャンパス内の指定する場所a) 第7項に記載の提出図書が完納していること。b) 第II部 技術仕様に記載の仕様を満足していること。室温5℃から40℃の室内で結露しない保管条件下で梱包を施すこと。a) 印刷物表 1に示す図書を印刷物として提出すること。2 / 27使用する言語は日本語とする。ただし、海外機器等の取扱説明書等はこの限りでない。印刷物は、原則 A4 サイズ用紙で提出すること。ただし、確認図、図表等はこの限りでない。印刷物は、原則ファイルに綴じること。「完成図書」とは、(ア)～(ク)を印刷して表紙と目次を付してファイルに綴じた物に加え、これらの電子ファイルも併せた物である。完成図書の大型図面は折りたたんで収納すること。文字が判読できない縮小図は不可とする。表 1 提出図書一覧図書名 提出時期 部数 確認(ア) 確認図 製作開始前 3 要(イ) 試験検査要領書 試験検査の前 3 要(ウ) 打合せ議事録 実施の都度 3 要(エ) 試験検査成績書 試験検査の都度 3 要(オ) 取扱説明書 納入時 3 –(カ) 完成図 納入時 3 –(キ) 納入品目表 納入時 3 –(ク) 完成図書 納入時 3 –b) 電子ファイル表 1に示す提出図書は、特記なき限り、次の電子可読形式ファイルで提出すること。(1) CADファイル：1) 2D-CAD：Autodesk AutoCAD LT(dwg、dxf)及びAdobe Acrobat(pdf)2) 3D-CAD：SOLIDWORKS(step、parasolid)及びAdobe Acrobat(pdf)(2) CADファイル以外：Microsoft Office(docx、xlsx、pptx)又はAdobe Acrobat(pdf)提出図書の作成に使用するソフトウェアは最新バージョンを用いることが望ましい。記録メディア(1) CD-R又はDVD-Rとする。(2) 数量は1枚とする。(3) 提出前に最新定義ファイルに更新されたウィルス検知ソフトでウィルスチェックを行うこと。(4) 記録メディアのレーベル面には、次の内容を直接印刷又は不滅インクによる手書きで明記すること。1) 件名2) 受注者名3) ウィルス検知ソフト名(バージョンを含む)4) データ書き込み日5) ウィルスチェック日特記事項3 / 27(1) CAD ファイルは周辺機器との干渉や取り合い等の確認に供するためにその使用を制限した上で他社と共有する場合がある。この点を考慮しCADファイルを提出すること。本仕様書における設計・製作・設置等は、全ての工程において以下の事項等について十分な品質管理を行うこととする。管理体制設計管理外注管理現地作業管理材料管理工程管理試験・検査管理不適合管理記録の保管重要度分類監査本仕様書における設計・製作・試験検査にあたっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。労働安全衛生法日本産業規格(JIS)その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・規格・基準等産業財産権等の取扱いについては、別紙－1「産業財産権について」に定めるとおりとする。受注者は、本品の製作にあたり、発注者から知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供してはならない。ただし、あらかじめ量研担当者の了承を得た場合にはこの限りでない。a) 本品の製作・設置作業に際し綿密かつ無理のない工程を組み、材料、労働安全対策等の準備を行い、作業の安全確保を最優先としつつ、迅速な進捗を図るものとする。また、作業遂行上既設物の保護及び第三者への損害防止にも留意し、必要な措置を講ずるとともに、火災その他の事故防止に努めるものとする。

b) 作業現場の安全衛生管理は、法令に従い受注者の責任において自主的に行うこと。4 / 27c) 受注者は、作業着手に先立ち量研担当者と安全について十分に打合せを行った後着手すること。d) 受注者は、作業現場の見やすい位置に、作業責任者名及び連絡先等を表示すること。e) 作業中は、常に整理整頓を心掛ける等、安全及び衛生面に十分留意すること。f) 受注者は、本作業に使用する機器、装置の中で地震等により安全を損なう恐れのあるものについては、転倒防止策等を施すこと。a) 物品識別タグは、提出された納入品目表をもとに量研担当者が作成し支給する。b) 受注者は、量研担当者が指定する全物品に物品識別タグを貼り付けた後に納入すること。c) 物品識別タグの貼付場所については別途協議の上決定する。本仕様書によって製作されたハードウエア等の図面を含む著作物の著作権は、量研に帰属するものとする。資料等から波及する特許権は、発注者に帰属する。契約不適合責任については契約条項のとおりとする。a) 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。b) 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。a) 受注者は、本仕様書について疑義が生じた場合、量研担当者と協議の上、その決定に従うものとする。b) 協議内容は文書によるやり取りを原則とし、その内容について受注者と量研担当者の双方が確認する。5 / 27軟X線ナノ光電子分光ビームライン下流ブランチ用後置鏡チャンバー、1式a) 受注者は、本仕様書に関する前提として別添資料「次世代放射光施設ビームライン機器共通事項」を原則遵守すること。ただし、別途指示等が本仕様書に明記されている場合にはそれに従うこと。b) 受注者は、本仕様書について疑義等が生じた場合は、量研担当者とその取扱いについて協議すること。協議内容は文書によるやり取りを原則とする。a) 座標系は右手系で、光の進行方向を z 軸にとる。y 軸は常に鉛直上向きを正とする(図 1 参照)。b) x、y、z軸の右回りを正として回転角Rx、Ry、Rzを定義する。光学素子が縦振りの場合、Rx、Ry、Rzはそれぞれピッチ、ヨー、ロールに対応する。光学素子が横振りの場合、Rx、Ry、Rzはそれぞれヨー、ピッチ、ロールに対応する。図 1 座標系の定義a) 光学原点光学素子における光学原点は、特記なき限り放射光照射使用時の位置、角度とする。b) 機械原点Rx(ピッチ)Rz(ロール)Ry(ヨー)放射光zxyRx(ヨー)Rz(ロール)Ry(ピッチ)放射光zxy縦振りの場合 横振りの場合6 / 27機械原点は、組立て、設置の正確性を期するために設けられる原点である。機械原点位置は、光学原点に対して所定の物理量によって結び付けられていること。a) x、y、z 軸の移動量、繰返し精度、最小可変量の計測点は、原則として、光学素子の中心位置の変位量とする。b) Rx、Ry、Rzの回転軸の計測点は、原則として、光学素子端面又は駆動端点とする。c) x、y、z 軸と Rx、Ry、Rz の相互の干渉が問題となる場合には、x、y、z の移動において光学素子端面と中心の双方を計測点として指定する。d) 上記 a)～c)のいずれの場合においても、光学設計から各軸の精度や干渉程度に優先度がつけられ、必要とされる精度を順に確保するよう計測手法や計測点を定めること。可動幅は、光学原点を基準として前後求められる範囲として定義する。a) 可動範囲の起点から終点までの走査を 3 回繰返した場合、次の領域において所定の精度内で位置決めを再現できることを言う。各測定点での最大幅及び最小幅可動範囲内での最大幅及び最小幅b) 位置決めの計測においては、計測点と駆動軸との距離を図面に明示すること。c) 測定点数は、最小読取量の 10 倍又は可動範囲の 20 分割のより細かい方を原則とする。ただし、計測実績が存在し、典型データにおいて滑らかな変化が担保される場合は、可動範囲の指定分割数を協議の上、より粗く調整できるものとする。d) 繰返精度の計測の際、計測時の誤差が問題になる場合には計測回数や平均化処理を認める場合がある。e) 双方向繰返精度と明記されない限り、指定された一方向の繰り返しとし、バックラッシュを考慮しなくて良いとする。f) 計測時の温度は0.5℃以下の確度とする。a) 電動駆動軸の場合、次世代放射光施設ビームライン機器共通事項のとおり。b) 手動駆動軸の内、目視読取(目盛など)がない駆動軸の場合には、操作軸の 1/4 回転を、目視読取がある場合には最小目盛りの半値をそれぞれ最小制御単位として与えたときに得られる可変量を最小可変量と呼ぶ。a) 電子読取(エンコーダ付き又は電動)の場合、それぞれの最小目盛に対応する当該軸の変位量をいう。b) 目視読取(目盛など)の場合、それぞれの最小目盛の1/2に対応する当該軸の変位量をいう。a) 動作雰囲気に応じて、次の 3 種類の調整軸を規定する。その調整範囲を確認図に明記すること。真空動作軸：超高真空を維持したまま操作できる調整軸7 / 27大気動作軸：通常開閉可能なフランジの開放のみによって操作できる調整軸ユーザー組立調整軸：組立時にユーザーが容易に操作できる調整軸b) 上記の調整軸の他、次の調整軸を規定する。工場調整軸(1) 製造出荷段階や現地精密位置決め調整段階における使用のみを前提としたボルト等の締結部品を含む調整軸(2) 主要な調整軸については、確認図に明記すること。特に、現地で不用意に操作すると機器性能を担保できなくなる調整軸についてはその旨注釈を入れること。a) 切替機構は、光学素子等を光軸から退避させ、複数の同一種類の光学素子を相互に入れ換えするための機構である。b) 切替機構は、特記なき限り、真空を保持したまま動作できること。c) 切替操作によって光学素子調整機構の性能を損なわないような構造とする。d) 切替機構の可動幅は、少なくとも両端の光学素子の照射有効領域(端)に定常的に放射光を導くことができる範囲とする。a) 次世代放射光施設標準ステッピングモーター次世代放射光施設ビームライン機器共通事項に従うこと。b) 次世代放射光施設標準モーターコントローラーツジ電子 PM16C-16HW2 相当品とし、これ以外の機器を使用する場合には、量研担当者と別途協議の上決定する。c) 次世代放射光施設標準ステッピングモータードライバーメレック H750v1 相当品とし、これ以外の機器を使用する場合には、量研担当者と別途協議の上決定する。

a) ポートのシールには、銅ガスケットシールのコンフラットフランジ(以下 ICF 規格と記す。)を原則として用いること。b) 鏡及び駆動機構取付用フランジは ICF 規格フランジと同等以上のメタルシールであれば採用を認める。なお、ICF規格以外のメタルシールを用いる場合は、製造社名、連絡先、型番、形状、材質等を明示し、入手方法を明らかにするとともに、量研担当者の確認を得ること。a) リーク量は、5E-11 Pa・m3/s以下とする。a) 真空度は次の機器を用いて計測する。ホット型真空計(1) ヌードイオンゲージNIG-2F(キヤノンアネルバ)相当品8 / 27(2) コントローラーM923HG(キヤノンアネルバ)相当品コールド型真空計(1) フルレンジゲージPKR361(PFEIFFER)相当品(2) コントローラーTPG361(PFEIFFER)相当品b) 真空度は鏡表面相当箇所での値とする。ポンプ内部など意図的に好条件における計測を行うことは認めない。a) 真空容器及び駆動機構、冷却機構を含む真空内機器は、真空仕様を満足する素材を用い、脱脂、電解研磨、純水洗浄などの処理を施すこと。b) 真空雰囲気には炭化水素系の汚染履歴が残らない素材・処理方法を用いること。c) 素材及び処理方法については内容・工程を報告すること。a) 水による真空外への熱の輸送を原則とする。その他の冷媒を認める場合があるが、別途協議の上決定する。a) 真空機器の冷却にあたっては、水冷方式の場合、原則として一筆書きによる接続部なき冷却配管とする。なお、一筆書き困難な箇所の場合、液体窒素冷却方式等の水冷方式以外の場合、別途協議の上決定する。b) 真空機器の冷却にあたっては、真空耐性、経年変化において信頼性が確立された継ぎ手やフレキシプルチューブによる冷却配管を認める場合がある。c) いずれの場合においても、冷却配管が保守可能な構造とすること。d) 冷却配管については、組立て時、搬入時にゴミ等が混入しないように、ビニルキャップで簡易封止を行うこと。これらの手続きなく納品されたものについては、フラッシング作業を求める。a) 真空容器及び排気装置、駆動機構を設置する架台である。以下の機能を有するために必要な構造であること。各軸所定の精度、再現性を十分満たす剛性をもった構造とすること。ベーキングによって位置変位、変形しない構造であること。粗調整可能な位置調整機構を有すること。調整終了後は、粗調機構並びに微調機構は十分な剛性・強度で固定できるものとする。架台は床面に十分な強度でアンカー固定できる構造であること。架台は床面縁切りを跨がないようにすること。架台には焼き付け塗装を行うこと。ただし、塗装色及び塗装箇所は別途協議の上決定する。排気装置本体及び鏡調整機構などのメンテナンスが必要な重量物を容易に取り外し可能な構造とし、必要ならばそのための冶具を有すること。ビームライン上に設置する際の干渉を考慮すること。9 / 27実験ホールの床高さは必ずしも平坦ではない。一方ビーム高さは規定されている。このため、必要に応じて現地測量し、十分な高さ調整しろを設けること。a) ベーキングの詳細については、次世代放射光施設ビームライン機器共通事項に付属する「ビームライン・ベーキング要領」に従うこと。a) 受注者は、予め外傷を目視確認した後、駆動部分やフランジ等の取付作業に取り掛かること。

真空セクションの一部は、ダクトとベローズ以外の真空接続要素類を取り外すことなく光学素子等のアライメント調整に必要なトランシット、鉛直器などの測量機器を設置できる構造である。17 / 27a) 真空度：UHV-TC級b) 温度：室温a) 真空ダクト・ベローズ類b) 架台c) ゲートバルブd) 真空計e) 主排気ポンプf) 粗引き排気ポンプa) 真空ダクト・ベローズは、特記なき限り超高真空仕様であること。b) 真空ダクトは、特記なき限りICF70とし、ダクト内径はφ30 mm以上であること。c) 接続部に過度な荷重負荷がかかる場合には、適宜支持架台を設けること。d) 各真空セクション間には原則ICF70の真空ベローズを設けること。e) 真空ダクト・ベローズの長さ、設置位置等の詳細については別途協議の上決定する。f) ゲートバルブは支給する。必要な配線・配管作業は本仕様に含まれる。g) 粗引き排気ポンプ用ポートには、オールメタルバルブ、バイトンバルブ、リークバルブを設けること。h) 真空計は、ホット型真空計とコールド型真空計のいずれかと取り付けること。なお、真空計は支給する。i) 主排気ポンプは、真空セクションにおける光学素子真空容器、真空ダクト等を超高真空に保つためのゲッター(NEG)ポンプ、及び NEG とイオンポンプ(IP)の複合機(以下「複合機」という。)である。j) 粗引き排気ポンプは、光学素子真空容器、真空ダクト等に接続され粗排気に用いられる。なお、粗引き排気ポンプは支給する。k) 真空計及び主排気ポンプの IP コントローラーは原則として制御ラック(支給品)に収納すること。l) 機器内配線、制御ラック内配線及び制御ラックヘの配線の全ては本仕様の範囲とする。次世代放射光施設標準モータードライバーは、駆動機構のステッピングモーターにパルス数に応じた電力を供給し駆動させるためのステッピングモータードライバーで、各駆動軸に1軸分のモータードライバーが対応する。次世代放射光施設標準モーターコントローラーとリミットスイッチ信号を送受信することができる。ステッピングモーター及びモーターコントローラーへの接続ケーブルの製作、結線までを本仕様に含む。a) 次世代放射光施設標準モータードライバー、5軸分18 / 27b) ケーブル、5軸分a) ステッピングモーターを駆動させるために必要な員数の次世代放射光施設標準ステッピングモータードライバーを用いること。b) 機器内配線、制御ラック(支給品)内配線及び制御ラックヘの配線の全ては本仕様の範囲とする。次世代放射光施設標準モーターコントローラーは、駆動機構のステッピングモーターを駆動させるために必要なパルス信号を発生し、複数の次世代放射光施設標準モータードライバーを同時に制御する機器で、Ethernetを介してリモート制御することができる。a) 次世代放射光施設標準モーターコントローラー、1式b) ケーブル、5軸分a) ステッピングモーターを駆動させるために必要な員数の次世代放射光施設標準モーターコントローラーを用いること。b) 機器内配線、制御ラック(支給品)内配線及び制御ラックヘの配線の全ては本仕様の範囲とする。ユーティリティー配管・配線は、ビームラインが動作するために必要な電力、圧縮空気等のユーティリティーの配管及び配線に関するものである。a) 電力配線、1式b) 圧縮空気配管、1式a) 電力は、分電盤を主たる取り合い点とするが、制御ラックにコンセントが準備されている場合にはそちらを用いても良い。b) ベーキングヒーター類の結線を含む。軟 X 線用輸送チャンネル真空仕様(UHV-TC 級)に従うこと。なお、この結線は機器別に端子台で受け、ビームライン・ベーキング要領に記載の次世代放射光施設標準型コネクター取り合いとすること。c) 圧縮空気で動作する機器への配管を行い、機器が正常に動作すること。d) 配管等は次世代放射光施設ビームライン共通事項に従うこと。e) ケーブル・配管は、ケーブルラックの最寄点までをまとめ、設置予定のラダー、あるいはカッティングダクト等を用いて保護すること。19 / 27f) 真空ダクトは取り外してアライメント調整を行う場合があるため、ケーブル・配管経路はダクトを渡すことを避けること。製作した真空容器等を現地の指定場所へ搬入し据付調整、真空排気、光学素子の設置、アライメント調整、駆動機構の動作確認等を行う。所望のビームライン性能を得るために機器を指定の位置に高精度に設置する。a) 基準マーク、1式b) 真空容器の設置、1式c) 調整機構の精密設置、1式d) 機械原点、駆動範囲確認、1式e) 光学素子の取付け、1式f) レーザーアライメント、1式g) 真空立ち上げ、1式a) 共通事項据付調整に関する手順書を作成すること。手順書は図面を用いて簡潔かつ具体的に記すこと。支給及び貸与物品においても、現地での据付、結線、真空排気を行うこと。b) 基準マーク概要据付調整等に必要な基準点を示す基準マークを貼付する。仕様(1) 光軸上(床面及び水平レベル)には基準マークを5 mよりも細かい間隔で打つこと。(2) 基準マークは、0.2 mm以下の線幅で十字が切られたシールとする。マークには個別の識別番号を付し、マークを貼った箇所を図面で記すこと。(3) マークを貼る際には、本施設側から渡される基準点を親とし、何次転写であるかを現場マーク及び図面上で明示すること。(4) シールが容易に剥がれないように保護カバーをつけること。(5) 後置鏡調整機構については、光軸上及び光軸直角方向に対して 2 点以上のマークを貼ること。機器設置後にも機器中心点及び後置集光鏡原点が光軸上及び光軸直角方向から望むことにより、その位置を確認できること。c) 真空容器の設置概要真空容器をビームライン上の指定する位置に高精度に設置する。仕様20 / 27(1) 真空容器用架台は光軸に沿って所定位置に±2 mmの精度で設置し、アンカーボルトで固定すること。(2) 真空容器の入射出射フランジ中心は±0.2 mmの精度で設置し、固定すること。(3) 真空容器のフランジセンターを示す冶具については、ICF70、114、152 サイズについてこれを含むこと。その他特殊サイズについても、使用する場合はこれを含むこと。(4) NEG ポンプ等を含む真空容器においては、ポンプの性能を劣化させないために真空による封じ切りが速やかに行えるような荷姿とする。このために、ポンプの組み付けをあえて避けるように指示する場合がある。このとき、ポンプ単体封じ切り状態での動作試験によってポンプのリークチェックの代替とする場合がある。(5) 真空ダクトについてはこれに準拠すること。d) 後置鏡ホルダー及び駆動機構の精密設置概要後置鏡ホルダー及び駆動機構(以下「調整機構」という。

)を所定の精度で真空容器に精密に設置する。仕様(1) 調整機構は±0.1 mmの精度で設置すること。(2) 調整機構は所定の偏角、高さへ調整し設置すること。この位置を機械原点と定める。(3) 据付調整は、ダミーの鏡(アルミニウム製ブロック、光学原点にケガキあり)を用いること。(4) 真空排気、フランジ締結による変動を考慮し、これが極力低減されるように工夫すること。なお、真空排気、フランジ締結に掛かる作業を進める中で協議の上、手順を確定させる。e) 機械原点、駆動範囲確認概要光学素子を取り付けた状態でレーザーアライメントを行う際の目安とすることを目的に、手動・電動の全ての軸の機械原点及び駆動範囲限界を与える位置等を記録した一覧表及び図面を作成する。仕様(1) 機械原点を与える位置を記録し、一覧表及び図面に付与して提出すること。なお、この数値は、後に光学素子を取り付けた状態でレーザーアライメントを行う際の目安とするものである。1) 手動の全ての軸について、機械原点を与えた寸法等を表に軸名とともに明記し、提出すること。2) 電動の全ての軸について、機械原点を与えたパルス数に加え、メカのおおよその位置をノギス、マイクロメーター等で計測した数値を表に軸名とともに明記し、提出すること。3) 当該調整機構の確認図に、寸法を計測した位置を明示すること。(2) 範囲限界を与える位置を記録し、一覧表及び図面に付与して提出すること。21 / 271) 手動の全ての軸について、範囲限界を与えた寸法等を表に軸名とともに明記し、提出すること。2) 電動の全ての軸について、範囲限界を与えたパルス数に加え、メカのおおよその位置をノギス、マイクロメーター等で計測した数値を表に軸名とともに明記し、提出すること。3) 当該調整機構の確認図に、寸法を計測した位置を明示すること。(3) 作成した一覧表及び図面は試験検査成績書の別添として提出すること。f) 光学素子の取付け概要調整機構の精密設置に準じ、後置集光鏡を後置鏡ホルダーに取り付けた後、駆動機構に設置する。仕様(1) 光学素子の取付作業は量研担当者が行うが、その支援をすること。(2) 光学素子の取付作業時には、マスク、帽子、手袋、無塵衣を装着し、光学素子の表面に埃、油分等が極力付着しないように配慮すること。g) レーザーアライメント概要ダミーミラーや光学素子を光学素子真空容器に設置した状態でレーザー光を用いて精密にアライメントを行う。仕様(1) レーザーアライメントは光学素子を取り付けた状態で行うこと。(2) 光学ハッチ内の第一光学素子上流基準点から導入されたレーザー光を下流の光学素子、出口スリットまでを通すこと。状況によっては、真空セクションごとにレーザー光でのアライメントを行うこと。また、この時の各機器の位置を光学原点とする。(3) 光学原点の位置は、機械原点及び駆動範囲限界を与える位置等を記録した一覧表及び図面に明記すること。その際、計測条件も併せて付記すること。(4) レーザーの屈折の影響が無視できる範囲でビューポートを介して良いが、極力真空状態での計測が望ましい。(5) レーザートランシット、鉛直器等の測長器を固定するレーザーアライメント用固定式台を製作し所定の位置にアンカー止めすること。(6) 固定式台は、レーザートランシットを固定式台から取り外した際、容易に真空ダクト等を通すことができる構造であること。なお、真空ダクト用ポストと兼用することを妨げない。特記事項(1) 固定式台のサイズ、固定方法、設置場所等の詳細については別途協議の上で決定する。h) 真空立ち上げ概要22 / 27真空立ち上げは、光学素子の設置、真空容器及び真空ダクトの接続、冷却水配管、ベーク機器、排気ポンプ等の取付け、電気配線等が完了した後、真空引きとベーキングの準備行為までを行う。仕様(1) 光学素子装着前1) ベーキングは駆動機構等へ影響を及ぼすような温度とならないようにすること。(2) 光学素子装着後1) ベーキングを実施する前に、駆動機構の動作確認を完了すること。2) ベーキングを実施中、光学素子自体の温度が100℃以下を厳守すること。3) ベーキング終了後、各真空容器の真空度が次の目標値を達成していることが望ましい。i. 後置鏡真空容器：5E-8 Pa以下ii. その他の真空容器、真空ダクト：5E-7 Pa以下特記事項(1) ベーキング後の真空度が目標値から大きく乖離している場合、リークテスターによるリークチェック、追加のベーキング等を要求する場合がある。(2) 残留ガス分析を要求する場合がある。受注者は、別途定める試験検査要領書に従って試験を行い、その結果について試験検査成績書等にまとめて提出する。a) 員数試験b) 外観試験c) 寸法試験d) 調整機構駆動試験e) リークチェック、1式f) ベーキングヒーター通電・絶縁試験、1式g) 据付精度試験、1式a) 共通事項試験検査成績書には次の項目を明記すること。(1) 試験内容(2) 試験機材名(3) 試験時の条件等(4) 試験結果(5) 合格基準(6) 合否判定(7) 記録者の氏名23 / 27(8) 承認者の氏名試験にあたり、出荷前試験、現地試験の場所に関わらず必要に応じて現場写真を求める場合がある。試験風景をデジタルカメラ等で撮影し提出すること。b) 員数試験員数が揃っていることを目視により確認すること。組付調整済み又は真空・窒素封入されている箇所に関しては、調整、封入前の確認で代用する場合がある。c) 外観試験外観に打こん、損傷等の異常がないことを目視確認すること。員数試験に準ずる。d) 寸法検査対象項目については別途協議の上、決定する。e) 調整機構駆動試験次世代放射光施設標準コントローラーと実際に当該機器を運転するために使用するモータードライバーによって動作確認を行うこと。全軸の駆動範囲は協議の上詳細を決定する手順に則って試験すること。出来る限り現地試験とするが、やむをえず出荷試験とする場合でも、現地においても確認を求める場合がある。通電時異常がないこと、動作方向の確認、変位量等、設計どおりの動きが実現されていることは、予め工場にて検査の上、記録に留め、出荷すること。パルスあたりの送り設計量又はエンコーダー値を予め以下の位置に対する数値として表にまとめ、実際の送りパルス数を確認すること。(1) 光学原点位置、及び両端のハードウェアリミット位置を記録する。(2) 実使用状態に近い負荷をかけた状態とする。(3) 3往復駆動し、方向に規定がある場合には、順方向及び逆方向について分けて記録をとること。

f) リークチェック概要指定するリークテスターを用いて真空容器、真空ダクト等の溶接個所、接続箇所が所定のリーク量以下であることを試験する。仕様(1) プローブ：ヘリウム(支給品)(2) 試験方法：ヘリウム真空吹き付け法(3) 試験機器：次世代放射光施設標準型リークテスター(支給品)(4) リーク量：5×10−11 Pa·m3/s以下g) ベーキングヒーター通電・絶縁試験対象項目については別途協議の上、決定する。h) 据付精度試験環境計測を含めた対象項目については別途協議の上、決定する。24 / 27図 2 ビームライン06Uの全景の概略図(参考図)25 / 27図 3 ビームライン06U 下流ブランチ後置鏡チャンバーの周辺の構成図26 / 27表 3 ビームライン06U 下流ブランチで使用する後置集光鏡の仕様(参考)名称後置集光鏡記号 M4B形状 ウォルター(Type-I)鏡出射スリット－第一反射面中心間距離 mm 12000第一反射面中心－第二反射面中心間距離 mm 200第二反射面中心－集光点間距離 mm 1000第一反射面(回転楕円面)入射角度 度 1.5楕円長軸半径 mm 7198.505楕円短軸半径 mm 140.393第一反射面長さ mm 208.918第二反射面(回転双曲面)入射角度 度 1.5双曲長軸半径 mm 598.505双曲短軸半径 mm 38.800第二反射面長さ mm 191.082基板物質 SiO2コーティング Au外形寸法 mm 420外形寸法 mm 50外形寸法 mm 50有効領域 mm 400有効領域 mm 30員数 1反射面の向き 水平冷却 なし側面研磨 なし側面の溝加工 なし表 4 後置鏡多軸調整機構の可動幅、最小可変量及び繰返精度(参考値)軸名 機能 可動幅 最小可変量 繰返精度 駆動方法x 水平移動 ±7 mm以上 0.5μm以内 5μm以内 電動y 鉛直移動 ±10 mm以上 0.5μm以内 10μm以内 電動z 前後移動 ― ― ― ―Rx ヨー ±0.5°以上 20μrad以内 50μrad以内 電動Ry ピッチ ±0.5°以上 2.5μrad以内 20μrad以内 電動Rz ロール ±0.5°以上 20μrad以内 50μrad以内 電動以上27 / 27(要求者)部課(室)名 ： 次世代放射光施設整備開発センター高輝度放射光研究開発部 ビームライングループ氏名 ： 堀場弘司